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等离子清洗机
日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR200
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
用途
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、啕瓷等）。
•石棉预处理（膜过滤灰化）。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。
■特点
• RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
•由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
•同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
•等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
•同步、自动调谐（PR200）。
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、啕瓷等）。
•石棉预处理（膜过滤灰化）。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。
■特点
• RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
•由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
•同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
•等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
•同步、自动调谐（PR200）。
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
| 型号 | PR200 |
|---|---|
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高频输出 | Max300W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 同调方式 | 手动2轴同调方式 |
| 反应腔 | 耐热玻璃0100x160mm |
| 反应气体 | 1系统（氧气）流量计 |
| 控制 | 手动密闭阀 |
| 配管材质 | 不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 |
| 外形尺寸 | W350xD400xH500mm |
| 重量 | 约10kg |
| 电源 | AC100V15A |
