陕西仪诚实验室设备有限公司成立于2012年，是北京东南仪诚实验室设备有限公司在十三朝古都西安设立的陕西分公司，公司致力于国内外知名实验室科研仪器和实验室教学仪器的销售推广和售后服务，客户涉及各大科研院所、高校、医院、企业、第三方检测和疾控，药监等政府职能部门。
等离子清洗机
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC510
适用于研究开发的小型等离子清洗机。
■操作性·功能
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
●标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■安全性·保护
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
●标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■安全性·保护
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
适用于研究开发的小型等离子清洗机。
| 型号 | PDC510 |
|---|---|
| 等离子模式 | RIE/DP |
| 电极构造 | 平行平板（固定） |
| 高频输出 | Max500W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 控制•显示 | 液晶触摸屏 |
| 反应室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
| 电极尺寸 | W400 x D200mm |
| 反应室材质 | 铝 |
| 反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
| 填充气体 | N2或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（约500L/分）标配 |
| 气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 |
| 外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
| 重量 | 约 180kg |
| 电源 | 三相AC200V8A |
