日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC610

小型、多段式等离子清洗机。

用途 
●提高各种材料的粘接性、表面改质处理 
●灰化、蚀刻处理 
●塑料封装前处理 
●印刷基板镀层前处理 
●LED关联部品处理 
●电子部品清洗 
●光刻胶剥离或表面残留物去除 
●光学、金属、机械部品等精密部件的清洗 
●包含氟化树脂的树脂类产品表面改质 
●FCC对应 
特征 
●600W的小型高输出功率 
●电极可选择1·2·3段(采购时指定) 
●可处理纵型的试料收纳盒 
●可选择RIE/DP模式(采购时指定) 
●数据记录器(选配) 
●适配点记忆功能(选配) 
 

小型、多段式等离子清洗机。

型号 PDC610
等离子模式 RIE/DP(固定模式)
电极构造 3段独立平行平板(固定)
高频输出 Max600W
频率 13.56MHz
控制·显示方式 PLC·触摸屏
反应腔尺寸 W350×D270×H300mm
反应腔材质 A5052
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
真空泵 油泵(约345L/分)·标配
外形尺寸 W600×D722×H700mm
外装材质 不锈钢
电源 3相,AC200,50/60Hz,15A