日本雅马拓YAMATO等离子清洗机YSP600U

样品传输系统为模块式,便于组合。

用途
●提高各种材料的粘接性、表面改质处理 
●清洗各类基板。 
●电子部品、材料表面改质。 
●去除有机物和自然氧化膜。 
特点 
●体积小,节省空间。 
●选用小型腔体,反应效率高。 
●更容易嵌入生产线使用。 
●可通过操作面板自由切换等离子模式。 
●配备冷却反应台

样品传输系统为模块式,便于组合。

模式 RIE(DP模式选购)
高频输功率 600W
反应台尺寸 W300×D300mm
反应气体 2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制 质量流量控制器
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个、空气1个